MEMS – microelectromechanical systems – микроэлектромеханические системы, технология MEMS фотолитографическая технология, позволяющая изготавливать кремниевые микросхемы с крошечными механическими элементами – интеллектуальные устройства (микромашины) с самыми разными функциями. В качестве известных примеров можно назвать имплантируемые кардиостимуляторы и дефибрилляторы.
MEMS
Статья с рубриками не связана