MEMS

MEMS (Micro-Electro Mechanical Systems, микроэлектромеханические системы) — механические структуры, выполненные на кремниевой основе с использованием полупроводниковых технологий. Технология MEMS позволяет объединять на одном кристалле механические и электронные компоненты. Механические компоненты, встроенные в чип могут совершать движения, управляемые напряжением и током, подающимся на кремниевый кристалл. Благодаря этой технологии могут быть созданы более производительные и миниатюрные микросхемы. Одной из областей применения MEMS является создание гибких компонентов беспроводных устройств. MEMS-технология используется для производства радиокоммутационных устройств, резонаторов, фильтров, сверхмаломощных бистабильных цветных дисплеев, чувствительных направленных микрофонов и «интеллектуальных» антенн.