Электронно-Оптические аберрации

Электро́нно-Опти́ческие аберра́ции — искажения электронно-оптических изображений. Среди аберраций осесимметричных приборов наибольшую роль играют: сферическая аберрация, кома, астигматизм, кривизна поля изображения и дисторсия. При разбросе скоростей электронов в пучке наблюдается также хроматическая аберрация, обусловленная немоноэнергетичностью пучка электронов. Аберрации ухудшают разрешающую способность и качество изображения, а поэтому в каждом конкретном случае необходимо их устранять.