Фоторезисты

Фоторези́сты — тип органических материалов, представляющих собой светочувствительный слой из пленкообразователей, например фенолоформальдегидных смол, органических растворителей и специальных добавок; они имеют чувствительность к оптическому излучению видимой и ультрафиолетовой области. Различают фоторезисты по следующим параметрам: по спектральной чувствительности (фоторезисты для видимой области спектра, ближнего и дальнего ультрафиолетового излучения), по характеру взаимодействия с излучением (негативные и позитивные), по структуре (пленочные, сухие и жидкие). Находят широкое применение в микроэлектронике при создании запоминающих устройств, искусственных спутников и др.