Следо́в ана́лиз, определение очень малых количеств элементов и соединений, присутствующих в анализируемом веществе в виде примесей. Их массовые доли находятся в пределах 10 — 1Ч10-3% (следы), 10-3-10-6% (микроследы), 10-6-10-9% (ультрамикроследы), < 10-9% (субмикроследы).