Ионный микроскоп

Ио́нный микроско́п— безлинзовый прибор, в котором для получения изображений используется ионный пучок, создаваемый термоионным или газоразрядным ионным источником. По принципу действия ионный микроскоп аналогичен электронному микроскопу. Проходя через объект и испытывая в различных его участках рассеяние и поглощение, ионный пучок фокусируется системой электростатических или магнитных линз и дает на экране или фотослое увеличенное изображение объекта. Ионный микроскоп должен обладать более высокой разрешающей способностью по сравнению с электронным микроскопом. Длина волны де Бройля для ионов значительно меньше, чем для электронов (при одинаковом ускоряющем напряжении), вследствие чего в ионных микроскопах малы эффекты дифракции. У ионного микроскопа меньше влияние изменения массы ионов при больших ускоряющих напряжениях и лучшая контрастность изображения. К недостаткам ионных микроскопов относятся заметная потеря энергии ионов даже при прохождении через очень тонкие объекты, что вызывает разрушение объектов, большая хроматическая аберрация, разрушение люминофора экрана ионами и слабое фотографическое действие. В результате ионный микроскоп не нашел практического применения.