Ионная бомбардировка

Ио́нная бомбардиро́вка поверхности твердых тел, взаимодействие поверхности твердого тела с направленным потоком ионов. Приводит к возникновению различных процессов, связанных с объемным и поверхностным рассеянием бомбардирующих ионов (нередко с изменением их зарядового состояния). Примеры: ионо-ионная эмиссия, ионо-электронная эмиссия, распыление, ионно-стимулированная десорбция и др. Отличается от атомных столкновений в газах малым межатомным расстоянием и наличием упорядоченности в расположении атомов. Широко применяется в технологии микроэлектроники, масс-спектрометрии и др. областях.