Деформаци О́ННЫЙ ВАКУУММ ́ЕТР — манометр, действие которого основано на определении деформации упругого чувствительного элемента (сильфона, мембраны, спиральной трубки), зависящей от измеряемого давления. Диапазон измеряемых давлений 105-10-2 Па. Дифференциальный вакуумметр измеряет разность давлений, существующих одновременно по обе стороны разделительного чувствительного элемента. Вакуумметр для измерения суммарного давления, оказываемого всеми компонентами газовой смеси называют вакуумметром полного давления. Действие деформационного вакуумметра полного давления основано на зависимости деформации чувствительного элемента или развиваемой им силы от измеряемого давления. Для измерения давления в низковакуумных системах часто используют деформационные стрелочные вакуумметры с чувствительным элементом выполненным в виде трубки Бурдона или капсульной пружины и отсчетным устройством часового типа. Такие вакуумметры составляют группу механических стрелочных вакуумметров.
Деформационный вакуумметр, в котором чувствительным элементом является мембрана или мембранная коробка, называют мембранным вакуумметром. Они получили распространение в сфере высокоточного измерения разреженных газов в микроэлектронной и химической промышленности. Принцип измерения давления за счет измерения деформации упругой мембраны в таких вакуумметрах объединен с высокоточным емкостным принципом измерения перемещений, при этом оценивается емкость конденсатора при перемещении одной из его обкладок. Мембранные вакуумметры обладают высокой химической стойкостью.