Ге́ттерный насо́с — вакуумный насос, действие которого основано преимущественно на явлении хемосорбции откачиваемого газа геттером (титан, барий); различают испарительные, ионно-геттерные, магнитные электроразрядные геттерные насосы. Работа ионно-геттерного насоса основана на захвате молекул и атомов газа и последующем их удержании в объеме насоса. Испарительные геттерные и ионно-геттерные насосы наиболее распространены, представляют собой класс безмасляных средств высоковауумной откачки. Вакуумный магниторазрядный насос предназначен для поддержания высокого и сверхвысокого вакуума в электровакуумных приборах, приборах микроволновой техники, оптической, малогабаритной аналитической аппаратуре.
Геттерный насос
Статья находится в рубриках