Высокочасто́тный разря́д — газовый разряд, возникающий под действием переменного электрического напряжения в поле высокой частоты. Имеет стационарный характер при высокой частоте переменного напряжения, а также ее очень низком значении. Характеристики и внешний вид высокочастотных разрядов зависят от рода газа, его давления, частоты переменного поля и подводимой мощности. По способу подведения энергии различают: электродный, безэлектродный, одноэлектродный, СВЧ-разряд в объемных резонаторах и радиоволноводах.