Адсорбционный насос

Адсорбцио́нный насо́с — вакуумный насос, действие которого основано на физическом явлении адсорбции откачиваемого газа откачиваемого газа на поверхности адсорбента — газопоглощающего вещества. Адсорбентом служат цеолиты, геттера, силикагели, активный уголь. Для усиления адсорбции адсорбент охлаждается жидким азотом. Со временем адсорбент насыщается газом и действие адсорбционного насоса постепенно прекращается, но восстанавливается после нагрева до 100-150 °С при откачке форвакуумным насосом. С помощью адсорбционного насоса можно получить абсолютное давление величиной до 10 мкн/кв.м.