Электронная микроскопия (дефекты)

Дислокационные петли с дефектами упаковки в кремнии, имплантированном ионами бора и прошедшими отжиг при 1000°C. Расстояния указаны в микронах. Фото предоставлено А. В. Марковым, лаборатория арсенида галлия Гиредмет, Москва.