Магни́тный электроразря́дный насо́с, ионно-геттерный насос, в котором поглощающая поверхность возобновляется путем распыления геттера электрическим разрядом в магнитном поле; остаточное давление ниже 10 нПа. Магнитный электроразрядный насос мало распространен из-за сложности устройства и большой потребляемой мощности, затрачиваемой главным образом на создание магнитного поля. Поглощающая поверхность обновляется осаждением на стенках термически испаряемого титана, а также катодным распылением титана в магнитном поле.
Магнитный электроразрядный насос
Статья находится в рубриках