Локальный анализ

Лока́льный ана́лиз, определение химического состава микрообъемов или тонких слоев твердых тел. Проводят методами электронной микроскопии (в сочетании с рентгеновским спектральным анализом), электронографии, масс-спектрометрии вторичных ионов и др.